ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ |

ପରିଷ୍କାର କୋଠାର ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ମୁଖ୍ୟତ the ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରାଯାଏ, କିନ୍ତୁ ସର୍ତ୍ତ ଅନୁଯାୟୀ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ ହେଲେ ମାନବ ଆରାମକୁ ଧ୍ୟାନରେ ରଖିବା ଉଚିତ୍ |ବାୟୁ ପରିଷ୍କାର ପରିଚ୍ଛନ୍ନତା ବୃଦ୍ଧି ସହିତ, ଏକ ଧାରା ଅଛି ଯେ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଆର୍ଦ୍ରତା ଉପରେ ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଅଧିକ କଠୋର ଆବଶ୍ୟକତା ରହିଛି |

ଯେହେତୁ ଯନ୍ତ୍ରର ସଠିକତା ସୂକ୍ଷ୍ମ ଏବଂ ସୂକ୍ଷ୍ମ ହେବାରେ ଲାଗିଛି, ତାପମାତ୍ରା ପରିବର୍ତ୍ତନ ପରିସର ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତା ଛୋଟ ହେବାରେ ଲାଗିଛି |ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ବୃହତ ଆକାରର ଇଣ୍ଟିଗ୍ରେଟେଡ୍ ସର୍କିଟ୍ ଉତ୍ପାଦନର ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ଏକ୍ସପୋଜର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ, ଗ୍ଲାସ୍ ଏବଂ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ର ଥର୍ମାଲ୍ ବିସ୍ତାର କୋଏଫିସିଏଣ୍ଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ପାର୍ଥକ୍ୟ ଛୋଟ ଏବଂ ଛୋଟ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ |100μm ବ୍ୟାସ ବିଶିଷ୍ଟ ଏକ ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଯେତେବେଳେ ତାପମାତ୍ରା 1 ଡିଗ୍ରୀ ବ ises ଼େ ସେତେବେଳେ 0.24μm ର ar ଖ୍ୟ ବିସ୍ତାର ହେବ |ତେଣୁ, ଏହାର କ୍ରମାଗତ ତାପମାତ୍ରା ± 0.1 ଡିଗ୍ରୀ ରହିବା ଜରୁରୀ |ଏଥି ସହିତ, ଆର୍ଦ୍ରତା ମୂଲ୍ୟ ସାଧାରଣତ low କମ୍ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ, କାରଣ ଜଣେ ବ୍ୟକ୍ତି ats ାଳ ବାହାରିବା ପରେ, ଉତ୍ପାଦ ପ୍ରଦୂଷିତ ହେବ, ବିଶେଷକରି ସୋଡିୟମ୍କୁ ଭୟ କରୁଥିବା ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର କର୍ମଶାଳା ପାଇଁ, ଏହି ପ୍ରକାର ପରିଷ୍କାର କର୍ମଶାଳା 25 ଡିଗ୍ରୀରୁ ଅଧିକ ହେବା ଉଚିତ୍ ନୁହେଁ |

ଅତ୍ୟଧିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ଅଧିକ ସମସ୍ୟା ସୃଷ୍ଟି କରେ |ଯେତେବେଳେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା 55% ଅତିକ୍ରମ କରେ, ଥଣ୍ଡା ପାଣି ପାଇପ୍ କାନ୍ଥରେ ଘନୀଭୂତ ହେବ |ଯଦି ଏହା ଏକ ସଠିକତା ଉପକରଣ କିମ୍ବା ସର୍କିଟରେ ଘଟେ, ତେବେ ଏହା ବିଭିନ୍ନ ଦୁର୍ଘଟଣା ଘଟାଇବ |ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା 50% ହେଲେ କଳଙ୍କିତ ହେବା ସହଜ ଅଟେ |ଏଥିସହ, ଯେତେବେଳେ ଆର୍ଦ୍ରତା ଅତ୍ୟଧିକ ଥାଏ, ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଥିବା ଧୂଳି ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ବାୟୁରେ ଥିବା ଜଳ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ୱାରା ଭୂପୃଷ୍ଠକୁ ଆଡର୍ସଡ୍ ହେବ, ଯାହା ଅପସାରଣ କରିବା କଷ୍ଟକର |ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା ଯେତେ ଅଧିକ, ଆଡେସିନ୍ ଅପସାରଣ କରିବା ସେତିକି କଷ୍ଟକର, କିନ୍ତୁ ଯେତେବେଳେ ଆପେକ୍ଷିକ ଆର୍ଦ୍ରତା 30% ରୁ କମ୍ ଥାଏ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଷ୍ଟାଟିକ୍ ଫୋର୍ସ ଏବଂ ବହୁ ସଂଖ୍ୟକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଯୋଗୁଁ କଣିକାଗୁଡ଼ିକ ସହଜରେ ଭୂପୃଷ୍ଠରେ ଆଡର୍ସଡ୍ ହୋଇଯାଏ | ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକ ଭାଙ୍ଗିବାକୁ ପ୍ରବୃତ୍ତ |ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ସର୍ବୋତ୍ତମ ତାପମାତ୍ରା ପରିସର ହେଉଛି 35 ~ 45% |